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温度センサー
リアルタイム温度監視で、測定結果を瞬時に反映
新開発の温度センサーにより、室温や基板温度をリアルタイムでモニタリングし、測定結果に反映させることが可能です。
温度変化の影響を受けやすい環境下でも安定した測定を実現し、精密なデータ取得を行えます。さらに、基板上の過熱箇所を特定するなど温度異常の検出ができるため、不良解析、原因究明、改善策立案に貢献します。あらゆる環境条件下での安定性と、高精度の温度管理を実現します。
＊APT-2400F / APT-2600FD 専用オプション
| 測定温度 | 0 ～ 100℃ |
| 印加電圧 | ±0.01V ～ ±40.00V |
| 測定電流 | 0.02μA ～ 1.000A |
